安永6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切机

近日,株式会社安永(以下:安永)与吉永商事株式会社(以下:吉永商事)及芯茂(嘉兴)半导体科技有限公司(以下:芯茂科技),达成三方战略合作。以吉永商事为窗口,将日本安永的6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切设备运至中国,为中国碳化硅衬底客户提供实机展示、样品加工、操作及维修培训等服务。芯茂科技将提供样机放置场地及技术支持。

「成员风采」安永6-8寸碳化硅专用金刚线多线线切机运抵中国

战略合作概要

日本安永公司的碳化硅金刚线多线切割机得到 日本广大客户的验证和认可,为了进一步开拓中国市场,安永公司将在芯茂科技(浙江嘉善)放置中国首台高速碳化硅金刚线多线切设备样机,提供实机展示、碳化硅晶棒切割、工艺验证等相关技术服务。

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安永公司简介


安永于1949年在日本三重创立,1996年在东京证券交易所上市。日本国内设有有5个加工工厂,4处销售据点,并分别在中国、韩国、新加坡、美国等海外国家共设有8个销售据点及生产工厂。


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安永的主要事业内容分为「汽车·产业机械」、「太阳能电池·电子·半导体」、「环境机械」共3大模块,其中电子·半导体模块约占总业务比重的25%,主要产品集中在线切割机和检测设备,在日本及海外有诸多实绩。

安永线切机简介



安永此次提供的样机型号为HW-810,可对应6-8寸SiC、GaN等多种高硬度材料的线切加工需求。

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该设备的主要特点在于高线速、高刚性、高精度、低损耗、节能环保等多个方面。尤其是该设备的高线速加工,实现了最高线速3000M/min,相比目前业内较多的砂浆线切工艺,线速提升约4倍以上,单根碳化硅晶锭的切割时间提升了14倍以上,月产最大可达到13000片以上(6寸SiC),可以极大的提高生产效率。大大提升了切割效率,节省了设备购置数量,节约了大量工厂空间,使加工成本较砂浆线切方式有非常大的优势。

安永也正在开发测试φ100um的线材,以进一步降低切割损耗,提升出片数量。


HW810的特点及优势

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HW810加工精度实绩

(试验数据)

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