大连创锐光谱科技有限公司(以下简称“创锐光谱”)创立于2016年,是一家专业从事超快时间分辨相关检测设备研发、生产、销售的高新技术企业。创锐光谱基于自主技术,深耕科学仪器和半导体材料检测两大应用领域,已实现从基础研究到工业生产的全产业链赋能。创锐光谱以底层光谱技术创新为核心立足点,科研产品与工业产品兼顾并重,形成“一核两翼”的发展方向,未来公司将全面拓展泛半导体工业检测市场,致力于成为全球领先的半导体检测技术解决方案供应商。

在科学仪器方面,创锐光谱专注于研发和生产瞬态吸收光谱系统、荧光光谱系统、光谱成像系统等多款精密光谱设备,已实现累计销售超百套,客户覆盖国内外50余家高校、科研院所及知名企业。在泛半导体工业检测方面,创锐光谱着重于研发和生产第三代半导体晶圆检测设备、光伏面板光学检测设备和LED、激光芯片检测设备等系列产品。其中碳化硅(SiC)晶圆质量大面积成像系统,大面积钙钛矿光伏面板成像系统、发光芯片失效分析等多款设备已成功应用于企业客户。

创锐光谱基于在时间分辨光谱领域的深厚技术积累,依托自主研发的底层技术,不断创新发展高精密时间分辨光谱仪器,打破进口垄断。在泛半导体工业检测方面,创锐光谱瞄准新一代半导体材料的产业需求,以解决行业痛点为目标,发展了晶圆少子寿命/质量成像检测新方法,钙钛矿光伏面板超高速检测成像、在线膜厚量测等多种创新性检测设备。


产品展示


碳化硅晶圆质量(少子寿命)成像检测系统

碳化硅晶圆的表面和体相点缺陷或者杂质缺陷检测对管控晶圆质量、优化工艺、提高晶圆和芯片良率至关重要。在相关体相缺陷检测中,传统的微波电导率点扫描检测由于其空间、时间分辨率和检测效率等关键参数上的不足,无法实现碳化硅晶圆的高精度、高效检测。

针对上述工业界应用的痛点问题,创锐光谱,创新性地开发了大面积高速相机成像检测方法和相关软件、算法系统。通过对晶圆少子寿命长短和分布等物理性质的高速成像采集,实现了对SiC晶圆(4寸、6寸和8寸)的快速质量成像检测和分析。

该设备技术指标可以达到100μm高精度空间分辨和15ns的超快时间分辨,可对晶圆体相中点缺陷浓度、缺陷分布进行快速、无损和非接触式检测。


联系方式


大连创锐光谱科技有限公司

联系电话:单经理15040520524

电子邮件:sales@timetechspectra.com

公司网站:www.timetechspectra.com

公司地址:辽宁省大连市高新技术产业园腾飞园区2#101-102


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