合作 | 全球SiC扩散和退火头部供应商宣布与IME达成合作

近日，德国centrotherm的扩散和退火设备将服务于新加坡科学技术研究局（A*STAR）微电子研究所（IME）的200毫米开放式SiC研发试验线。

A*STAR认为，与传统的硅基半导体相比，碳化硅基半导体具有更高的能效和更高的开关频率，可以构建更小的电力电子模块。基于 SiC 的电源模块广泛应用于各种电力应用中，例如电动汽车 (EV)、电动火车、数据中心和电网。然而，当前的SiC 衬底存在大量缺陷，需要巧妙管理。

此次合作旨在利用IME的工艺集成和器件表征能力以及centrotherm的专业工具来开发用于SiC基器件制造的热工艺，例如优化沟槽和栅极氧化物的形成，从而提高SiC基器件的性能和可靠性，例如金属氧化物半导体场效应晶体管 (MOSFET) 和二极管。作为合作伙伴关系的一部分，centrotherm 将在新加坡建立一支专门的技术团队，提供技术知识、工艺配方和现场支持。

图片：A*STAR 微电子研究所和 centrotherm 正在开发的集成 SiC MOSFET 技术解决方案

A*STAR IME 执行董事 Terence Gan 表示：“通过将 IME 的 200mm SiC 研发试验线与 Centrotherm 的先进工具相结合，我们可以加快研发速度，更好地满足行业需求。”

Centrotherm 首席技术官 Helge Haverkamp 表示：“两个组织的共同愿景、专业知识和资源有望推动创新、提升行业标准并促进半导体制造领域的本地增长。” “随着我们迈向 SiC 和电力电子的未来，我们计划进一步增强宽带隙工艺模块的扩散和退火专业化，并将专业知识扩展到 SiC、GaN 和其他创新宽带隙材料。”

微电子研究所（IME）
新加坡科学技术研究局(A*STAR)下属研究机构。微电子所的定位是在学术界和产业界之间架起一座合作研发的桥梁，以提升新加坡半导体行业价值为使命，发展战略能力、创新技术和知识产权资产；使企业具有技术竞争力；培养技术人才库，为行业注入新知识。重点研究领域为异构集成、系统级封装、传感器、致动器和微系统、射频和毫米波、碳化硅/氮化镓功率电子和医疗技术。

碳化硅方向合作时间线：

2021年11月:
【IME&ST】合作开发SiC 集成器件和封装模块技术。

2022年1月：
【IME&Soitec】利用Soitec的Smart Cut技术以及 IME 的研究能力和设施,合作开发200mm的SiC衬底、外延和Mosfet制造工艺，用以验证Soitec衬底的优异性。

2022年7月：
【IME&LPE】利用 LPE 在 SiC CVD反应器技术和 SiC 外延生长方面的知识，、200mm SiC 中试工艺集成线和材料表征设备。目标是创建 200mm 外延工艺，提高生长速率和均匀性，并降低致命缺陷密度。

2022年9月：
【IME&Toray】Toray和IME之前合作开发了一种坚固的SiC功率半导体模块，该模块采用了FALDA™系列的高散热胶片。一般使用润滑脂和焊料的散热胶粘剂材料与冷却器的接触热阻较大，导致半导体冷却不充分而失效。Toray 和 IME 解决了这些问题这些问题，采用 Toray 的材料制造了第一个新的SiC功率半导体模块的原型，该模块使用具有极低接触热阻的散热粘合片，低于传统产品。高温下的耐久性测试证实，该模块可持续进行大量的功率循环。

2022年9月：
【IME&Toray】Toray和IME之前合作开发了一种坚固的SiC功率半导体模块，该模块采用了FALDA™系列的高散热胶片。一般使用润滑脂和焊料的散热胶粘剂材料与冷却器的接触热阻较大，导致半导体冷却不充分而失效。Toray 和 IME 解决了这些问题这些问题，采用 Toray 的材料制造了第一个新的SiC功率半导体模块的原型，该模块使用具有极低接触热阻的散热粘合片，低于传统产品。高温下的耐久性测试证实，该模块可持续进行大量的功率循环。

话外：
东南亚正逐渐成为全球半导体科技投资者的必争之地。

在美国《芯片与科学法》掀起全球芯片产业发展竞赛浪潮，并对中国芯片产业实施打压之际，东南亚在全球芯片产业链中的角色正愈发受到重视。有观点认为，在中美科技竞争的背景下，同时与中国和美国保持紧密经贸关系的东南亚正处于有利位置。有市场观点称“在目前美国的政策之下，许多先进的芯片生产设备无法运抵中国，而中国生产的芯片又会被西方一些国家拒绝使用。在这种情况下，芯片企业赴东南亚投资建厂，是一种规避风险的选择。”

碳化硅作为全球宽禁带半导体的重点发展部分，也正在逐步适应芯片全球化格局，特别在全球功率半导体龙头英飞凌在马来西亚居林工业园区投资70亿美元，建造全球规模最大的碳化硅晶圆厂后，国内外碳化硅相关产业链重点企业对布局东南亚市场关注度持续上升。

据市场消息称，已有部分国产碳化硅企业正在探讨东南亚建厂事宜。除供应端外，需求端也有相关动作。2023年11月，理想汽车还曾发布消息称，将在新加坡成立办公室，并招募碳化硅相关人才。

来源： 碳化硅芯观察

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