多级沟槽如何释放氧化镓“芯”动能？

氧化镓（β-Ga₂O₃）作为第四代宽禁带半导体的战略材料，凭借其超宽禁带、超高击穿场强及熔体法生长的低成本优势，正在重塑中高压功率器件的效能极限，有望在新能源汽车、光伏逆变及工业电源领域实现电能转换的颠覆性突破。

然而，氧化镓产业化长期受困于两大瓶颈：p型掺杂缺失导致传统平面结构难以稳定实现增强型操作，以及电极边缘电场畸变制约击穿电压提升，使材料本征的高耐压潜力无法充分释放。为突破上述瓶颈，沟槽栅结构近年来成为氧化镓功率器件设计的创新方向。该类结构通过纵向挖槽、横向延展的立体布局，在无需p型层的前提下实现增强型工作模式，同时利用沟槽内壁形成的导电沟道显著降低导通电阻（Ron,sp）。

随着应用场景向10 kV以上超高压领域拓展，单级沟槽结构的性能优化空间日趋饱和。栅槽底部的电场尖峰、异质界面载流子输运损失以及热分布不均等问题，逐渐成为制约器件可靠性的新挑战。新型多级沟槽结的出现为攻克超高压氧化镓器件的核心难题开辟了新路径。

7月15日-17日，“2025宽禁带半导体先进技术创新与应用发展暨智能传感器产业发展高峰论坛” 将于安徽省芜湖市盛大召开。论坛将聚焦宽禁带半导体产业链耗材-设备-材料-外延-器件-应用上中下游全产业链，设有产业链协同发展的关键技术突破、宽禁带半导体应用场景新拓展、下一代宽禁带半导体技术研发与产业化、高端智能传感器技术发展与创新四大专场，深入探讨宽禁带半导体产业链协同发展的新路径，为宽禁带半导体产业的未来发展贡献智慧与力量。

届时，九峰山实验室研究员、功率器件负责人袁俊将受邀出席论坛，以“新型多级沟槽氧化镓功率器件的研究”为题，带来一场精彩报告，报告将系统阐释多级沟槽结构在电场调控与载流子输运中的创新机制，揭示氧化镓器件突破超高压应用瓶颈的技术路径。敬请关注！

嘉宾介绍

袁俊，湖北九峰山实验室功率器件负责人，专注于化合物半导体材料及芯片技术的研究。

单位介绍

九峰山实验室于2021年由湖北省人民政府正式批复组建，是湖北实验室之一。实验室面向世界科技前沿，面向国民经济主战场和国家重大需求，以建设先进的化合物半导体研发和创新中心为愿景，在中国光谷建立起全球一流的化合物半导体工艺、检测基础设施，打造公共、开放、共享的科研平台。

实验室已建成化合物半导体产业最先进、规模最大的科研及中试平台，包括9000平方米洁净室以及一流的化合物半导体工艺、检测、材料平台，4/6/8 inch工艺平台全兼容，化合物半导体材料设备全覆盖，可扩展下一代半导体设备能力。

聚焦化合物半导体的研发与创新，九峰山实验室面向电力电子器件、无线互联器件、MEMS和光电芯片等应用场景，具备化合物半导体器件的设计及工艺制造能力。同时提供完全中立开放的测试服务，为先进半导体产业链提供世界级第三方量测能力。

会议信息

一、会议主题

破局 2025，解锁应用新市场——2025 宽禁带半导体先进技术创新与应用发展暨智能传感器产业发展高峰论坛

二、会议时间

2025 年 7 月 15 日-17 日

三、会议地点

芜湖新华联丽景酒店（安徽省芜湖市鸠江区徽州路77号）

四、组织机构

主办单位：宽禁带半导体技术创新联盟

中国科学院物理研究所

承办单位：西安电子科技大学芜湖研究院

北京天科合达半导体股份有限公司

协办单位：高端芯片产业创新发展联盟

亚洲氧化镓联盟

功率半导体行业联盟

上海半研市场信息咨询有限公司

芜湖市半导体行业协会

五、会议议程

六、会议议题

1.产业链协同发展的关键技术突破

• 8 英寸 SiC 技术优化与产业发展
• GaN 基材料、器件研究进展及产业化突破
• 高频、高压、高温宽禁带半导体器件的设计和优化
• 封装材料与工艺对宽禁带半导体器件性能影响

2.宽禁带半导体应用场景新拓展

• SiC 与 AR 技术的创新结合
• SiC 技术在低空经济中的应用与创新
• 航天任务中宽禁带半导体技术需求与解决方案
• 宽禁带半导体器件在光伏逆变器和储能中规模化应用
• SiC 在新能源汽车中的性能突破
• 车规功率器件和集成电路可靠性和失效分析

3.下一代宽禁带半导体技术研发与产业化

• 氧化镓半导体产业化进展与挑战
• 金刚石半导体技术发展与产业化前景
• 高质量多晶金刚石制备

4.高端智能传感器技术发展与创新

• MEMS 传感器技术创新
• 智能传感器在汽车电子、工业物联网等领域的应用
• 新型材料（石墨烯、AlN）的产业发展
• 传感器芯片“设计-制造-封测”产业生态构建

七、拟邀单位

八、酒店预订

酒店名称：芜湖新华联丽景酒店

酒店地址：安徽省芜湖市鸠江区徽州路77号

协议价格：

豪华双床房：350元/晚/间 (含双早)

豪华大床房：350元/晚/间 (含双早)

预订电话：

前台：0553-5878999

李经理：18855358551

请告知参加“7月宽禁带联盟会议”享受协议价

九、参会联系人

商务合作：

陈老师/13155757628

侯老师/13811837211

张老师/18526813799

报名参会：

周老师/17854177403

刘老师/18931699592