爱发科真空技术（苏州）有限公司是世界著名的真空设备制造商【株式会社ULVAC(爱发科)】在中国投资兴建的全资公司，于2003年7月在苏州工业园区设立，总投资1.035亿美元，注册资本3450万美元，占地面积七万多平方米。

主要为功率器件、化合物半导体器件（功率器件及射频器件）、传感器（MEMS、红外等）、光通信及光电器件、滤波器件（SAW/BAW）、薄膜电路等行业的企业、研究所及大学提供芯片生产及研发的相关设备，同时提供设备及周边产品的售后服务。

产品介绍

一、蒸发系列

• 可对应不定形片及2寸~12寸；
• 可对应各种金属,合金,非金属,化合物等工艺以及lift-off工艺。

二、溅射系列

• 2～8inch,方片,未定型片,切换兼容；
• 多元溅射，多元材料对应。

三、刻蚀系列

• 可提供低压高密度低能量的等离子体；
• Pyrex和硼硅酸玻璃等杂质较多的玻璃加工可以获得平滑的刻蚀图形。

四、PECVD系列

• 托盘搬运适用于2~8寸
• 多种基板尺寸

爱发科真空技术（苏州）有限公司

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电子邮件：xiaofeng_he@ulvac.com

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