国内首次！国际最大！富加镓业突破6英寸VB法氧化镓单晶制备技术

杭州富加镓业科技有限公司（以下简称富加镓业）在氧化镓晶体生长领域取得重大突破——利用垂直布里奇曼法（VB法）在国内首次成功制备出6英寸氧化镓单晶晶锭，晶体等径高度达30mm，为功率器件所需导电性材料，可满足完整6英寸氧化镓导电型衬底的加工需求。

图1 6英寸VB法氧化镓单晶锭

富加镓业在氧化镓单晶领域展现出强劲的技术迭代能力。2024 年 12 月，率先在国内实现 4 英寸 VB 法氧化镓晶体制备，此次 6 英寸单晶的突破，实现晶体尺寸上的跨越式升级，再次凸显公司在核心装备制造、高精度模拟仿真、确定性热场设计三大关键领域的硬核实力。

迄今为止，富加镓业进行了多轮次2-6英寸VB法氧化镓晶体生长，不断升级装备性能，验证生长装备稳定性。6英寸氧化镓单晶晶锭的研制成功，标志着公司在晶体生长技术上取得重大突破，充分验证了“工艺与装备双轮驱动”战略的前瞻性，这是继2024年5月实现导模法“一键长晶”技术后的又一里程碑（杭州富加镓业科技有限公司率先突破导模法“一键长晶”技术，并荣登央视CCTV1《朝闻天下》栏目）。公司已推出拥有自主知识产权的VB法氧化镓晶体生长设备及配套生长工艺包，加速氧化镓领域产业生态构建，推动氧化镓半导体产业的蓬勃发展。

图2 VB法氧化镓晶体生长装备

来源：杭州富加镓业科技有限公司

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