富加镓业发布（011）面氧化镓衬底新品

富加镓业今日正式推出新型（011）晶面氧化镓衬底产品，涵盖小片及2英寸标准规格，并全面开放 4 英寸衬底与2-4英寸外延片定制服务，丰富了公司氧化镓衬底及外延产品体系，为高压功率器件等高端应用提供关键材料解决方案，践行“让世界用上好材料”的企业愿景。

产品介绍：

设备：

公司研制了国际上首台具备“一键长晶”EFG设备，可以满足2-6英寸晶体生长需求，目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可提供设备及配套工艺包。

公司自行研制了全自动VB晶体生长设备，并在国内率先突破了6英寸单晶生长技术瓶颈，实现了大尺寸VB法单晶制备。目前获得国内授权专利6项，国际授权专利4项，可根据客户需求提供VB设备及工艺包。

公司结合氧化镓脆性、容易解理特点，研发了2-6英寸氧化镓单晶衬底研磨抛光设备，并根据客户需要可提供成熟的研磨抛光及清洗工艺包。

单晶及外延片：

公司已经建立企业标准2项，获得ISO9001质量体系认证，向市场提供10mm至6英寸的多种晶向的氧化镓单晶衬底10mm至6英寸的MOCVD氧化镓外延片及10×15mm MBE氧化镓外延片。

来源：杭州富加镓业科技有限公司

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