这一SiC光波导项目获奖，已具备量产能力

近日，据“复旦大学微电子学院”官微等透露，复旦大学的彭博方博士与李煜淳博士团队凭借“基于表面浮雕光栅的SiC AR衍射光波导”项目成功斩获第三届全国博士后创新创业大赛总决赛银奖。

据介绍，该项目直击消费级AR眼镜产业化的核心痛点，针对AR衍射光波导长期存在的视场角狭窄、彩虹纹、成本高昂和远近视方案匹配四大难题，提出了基于碳化硅（SiC）晶圆的表面浮雕光栅衍射光波导解决方案。

图：基于SiC的表面浮雕光栅AR衍射光波导效果展示

尤其是针对成本问题，该项目通过反向定义光学参数、自研纳米压印与Talbot光刻设备（成本仅为进口设备的30%-50%），并共享设备IP及工艺包，成功将SRG镜片成本降低40%以上。

在关键工艺方面，项目团队围绕SiC晶圆从晶锭到“切-磨-抛”及外延的全流程，提出了多项良率提升方案，有效提高了产业整体良率。同时，为实现在SiC上制备50纳米级微结构，团队重点攻关泰伯光刻技术，逐步突破工艺瓶颈。

图： 彭博方博士在第三届博士后创新创业大赛演讲现场

在设备层面，项目团队坚持核心设备与设计全自主开发，已解决部分“卡脖子”难题，并实现了多项颠覆性创新。通过自研专用设备与完整工艺链的构建——涵盖光栅设计、母版加工、纳米压印、刻蚀镀膜等环节，团队逐步建立起从设计到制造的全流程技术壁垒，形成了SiC AR量产的一体化能力。

图：项目团队开发的一体化AR制造系统

我们关注到，彭博方及李煜淳博士团队注重推动技术的产业化落地，重视将技术研发成果导向商业成功。目前，该项目团队已开发出玻璃基AR衍射光波导，相关设备已向国内多家AR及晶圆企业出货，并完成了SiC晶圆刻蚀工艺的技术储备。

值得一提的是，彭博方及李煜淳博士团队扎实的技术成果，正推动着碳化硅AR光波导眼镜的进一步发展与普及。

据调研，碳化硅AR光波导眼镜已呈现清晰增长轨迹：2024年，采用SiC光波导的AR眼镜数量位于千台级别（多为工程研发机），伴随供应链上游SiC衬底出货量的提升，预计2025年将实现小幅增长，并在2026年迎来进一步放量。至2027年，随着SiC衬底成本进一步优化，采用SiC光波导的AR眼镜出货量有望实现较大幅度攀升，预计突破20万台。

与之相应，SiC光波导镜片的出货量也将同步跃升。据调研，2024年SiC光波导镜片出货量约为数千片，预计到2027年将接近50万片，并有望在2030年达到700万片级别。

可见，“基于表面浮雕光栅的SiC AR衍射光波导”项目的创新与量产，不仅仅是单项技术的突破，更在于通过多项创新推动整个产业链条的升级。此外，随着成本与工艺瓶颈的突破，SiC光波导技术或将迎来规模化应用拐点。

来源：行家说三代半

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