12英寸碳化硅衬底技术近期取得关键突破,Coherent与永泉晶圆两大企业已相继宣布其量产进展,可为AI数据中心日益严峻的热管理难题提供更高效的解决方案。

据统计,截至2025年9月,国内外合计已有超10家企业成功制备12英寸SiC晶体或衬底,亦重点布局于AR光波导、CPU中介层等应用领域。

Coherent:

新增12吋SiC衬底产能

12月3日,Coherent在官网宣布,其下一代12英寸碳化硅平台取得了重大里程碑,旨在满足人工智能数据中心基础设施日益增长的热管理需求。

Coherent表示,该平台的导电碳化硅衬底具有低电阻率、低缺陷密度和高均匀性,从而实现低功耗、高频和良好的热稳定性。在人工智能和数据基础设施领域,其优异的性能可提升下一代数据中心系统的能效和散热性能。

该技术还可制造更薄、更高效的波导,用于增强现实智能眼镜和虚拟现实头显,从而提高紧凑型沉浸式显示模块的可靠性。在电力电子领域,12英寸晶圆尺寸的转变使得每片晶圆可容纳更多器件,并降低单芯片成本,从而支持电动汽车、可再生能源系统和工业自动化等应用。

资料显示,#Coherent 成立于1971年,其业务覆盖激光技术、光电子器件等多个核心领域。2022年7月,Coherent被II-VI公司以约70亿美元收购,合并后沿用“Coherent”作为新公司名称。此次整合实现了技术互补——原II-VI在砷化镓、磷化铟、碳化硅等光电子材料和光器件领域的优势,与原Coherent的激光系统技术相结合,让新公司具备了从材料到终端产品的全产业链控制能力。

Coherent公司高级副总裁兼总经理Gary Ruland表示,“人工智能正在改变数据中心的散热管理格局,而碳化硅正成为实现这种可扩展性的基础材料之一,Coherent计划大规模量产的12英寸平台,将带来更高水平的散热效率,从而实现更快、更节能的人工智能数据中心。

此前7月,Coherent位于越南的SiC工厂正式落成。该工厂耗资1.27亿美元(约合人民币9.12亿元),将生产碳化硅半导体、光学玻璃和先进光学器件。新工厂将对Coherent布局碳化硅及光学产品的产能发挥关键作用。

永泉晶圆:

12吋SiC量产出货

12月8日,据中国台湾工商时报报道,永泉晶圆已成功研制出12吋SiC单晶晶锭,于今年9月达成稳定量产,12吋产品已量产并出货国际客户,快速切入AI伺服器与HPC所需的高导热散热材料供应链。

文章进一步称,永泉晶圆投入SiC技术逾8年,完整掌握粉末制造、籽晶技术、热场设计、长晶炉研发以及晶锭等后段加工工艺,于2024年在桃园中坜建置先进生产基地,6吋与8吋SiC单晶晶锭量产良率稳定超过85%,晶锭厚度达25–35mm。

永泉晶圆发言人戈副总指出,目前永泉晶圆6吋与8吋产品已通过日本多家车用大厂测试并导入使用,应用于电动车逆变器、变压器、OBC车载充电器与快充系统,12 吋SiC产品已被国际客户导入高端IC 散热方案。

值得注意的是,今年5月,永泉晶圆获选中国台湾经济部产业升级创新平台的创新优化计划——「高散热SiC单晶基板开发计划」,并与工研院共同研发热传导系数超过350W/mK的复合型新材料,以取代高端ALN DPC基板。戈副总表示,此技术将对射频(RF)前端模组与功率模组带来重大革命。

来源:行家说三代半

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