面向 AR 光学碳化硅衬底量产质检，创锐光谱高精度晶圆吸收光谱仪 Y300 正式推出

在 AR（Augmented Reality）显示产业规模化进程中，光学级 SiC 衬底的吸收率一致性，是保障 AR 眼镜成像、色彩稳定的关键指标。为满足行业标准化质检需求，创锐光谱推出自研高精度晶圆吸收光谱仪——Y300 全自动光学级SiC晶圆吸收光谱仪，凭借万分之一级重复检测精度，构建覆盖 6-12 英寸晶圆的全自动一体化检测体系，为 AR 光学衬底出厂性能提供标准化标定支撑。

核心亮点

1 ｜ 超高检测重复精度

系统搭载 wafer‑by‑wafer 单片动态自动校正方案，并融合实时参比补偿光路，该校正机制有效消除环境与系统漂移，确保批量检测结果具备极高的重复精度与优异的一致性，为生产追溯提供可靠数据保障。

2 ｜高效量产检测架构

检测通量可达 60 WPH，高效匹配大批量 AR 衬底连续出厂检测需求，助力产线节拍无缝衔接。

3 ｜全自动化晶圆传输系统

系统采用非接触式机械手自动上下料，配合水平平置式载台，全程避免晶圆与任何部件发生摩擦或挤压，从源头杜绝人为操作带来的污染与划伤风险；设备可有序对接半导体自动化产线，支持 7/24 无人值守连续检测。

检测实例

来源：创锐光谱工业应用

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