2026年,金刚石散热材料在光互连领域密集刷屏。从Coherent推出可将界面热阻降低99%的可键合金刚石方案,到复旦大学与北京大学联合团队在《自然·通讯》发表金刚石衬底Micro-LED光互连创纪录成果,再到黄河旋风子公司建成国内首条8英寸金刚石热沉片生产线——一系列标志性事件让业界开始认真讨论一个问题:金刚石散热,真的要来了吗?本文系统梳理了金刚石散热技术以及产业阶段的发展态势。


一、为什么AI光互连突然需要金刚石?

1.1 光互连的“热”,和功率器件的“热”完全不同

电力电子散热追求的是总功率搬走——把几百瓦从一颗GPU或SiC模块里导出来,比的是热通路的整体能力。铜、铝、液冷、均热板这些“宏观”方案足够胜任。


但光互连的热有三点本质不同:

热源极小、极局部:一颗EML/DFB激光器的有源区只有几微米量级,但局部热流密度极高,热量几乎是从“点”里往外涌;

温度极其敏感:激光器阈值电流、斜率效率、波长都随温度漂移。DFB激光器波长温度系数通常在0.08~0.1nm/℃量级,温升几度就足以让WDM通道失配、光功率下降、误码率恶化;

热和光直接耦合:光学封装里,热沉的微小形变会影响光纤耦合对准;温升会改变波导折射率、调制器工作点。所以“热”不是一个独立的散热问题,而是光—电—热三者的共同问题。


这意味着,光互连散热的关键不是“把总热量搬走”,而是“在热源最近的地方,用最短路径、最低热阻把热点摊开”。这正是高导热材料的主场。


1.2 AI为何把这个问题放大了

AI集群的流量特征是短距离、高密度、高带宽、长期满载:


空间更挤:800G/1.6T模块里,激光器、硅光调制/探测区、驱动/TIA/DSP被压缩在狭小封装内,热流密度陡增;

功耗预算更紧:可插拔模块的功耗从800G的12~15W,向1.6T的20~25W甚至更高逼近,而面板风冷的余量正在见底;

串扰更难缠:在WDM/激光阵列里,一个通道的自发热还会“烤”到邻居,热串扰直接压缩通道间隔和功率预算——热点会传染;

CPO把热搬到离ASIC最近处:CPO/NPO把光引擎和交换ASIC共封装,散热距离缩短、热密度飙升,传统“芯片→冷板”的阶梯式散热开始不够用。


据行业公开数据,光芯片结温每升高10℃,可靠性下降约50%,调制带宽衰减约15%。局部热点处热流密度可达1000~2500W/cm2,全面超越传统风冷、铜液冷板乃至两相液冷方案的上限。


1.3 金刚石的角色定位

金刚石是自然界已知导热系数最高的材料。单晶金刚石室温热导率达2000~2200W/(m·K),是铜的5~6倍、铝的9倍以上。Coherent采用CVD技术批量制备的光学金刚石,导热系数可超过2200W/m·K)。


更关键的是,金刚石在“高导热+低热应力”的组合上没有工程替代品。其热膨胀系数(CTE)约1.0~1.1ppm/K,与硅的失配仅约1.5ppm/K;而铜与硅的失配约14ppm/K,相差一个数量级。这意味着金刚石不仅能高效导出热量,还能避免热失配导致的界面开裂和器件失效。此外,金刚石具备宽光学透过窗口(225nm至远红外)与化学惰性,体积电阻率>101⁵Ω·cm,击穿场强超10MV/cm,可在光芯片有源区直接集成而无需额外绝缘夹层。


因此,金刚石的价值,是蹲在最局部、最敏感的热阻瓶颈上:激光器热沉、硅光/InP热点spreader、光电封装热通路,而不是替代整套冷板/热管/风扇系统。用一句话概括:“近结热扩散器 + 电学隔离层”。

近结热扩散:把微米级热源的热量,在极短距离内横向摊开到大面积,再交给下游冷板/TIM接力。

电学隔离+导热兼得:本征金刚石是优良的电绝缘体(电阻率>101⁴Ω·cm),可做光电器件的绝缘导热衬底/隔离层,这是铜等金属不具备的附加价值。


二、金刚石在光互连中到底怎么用?


金刚石在光互连里的最优形态,从来不是“大面积全覆盖”,而是精准嵌入——哪里是热阻瓶颈,就嵌在哪里。

表1 金刚石的集成位置(按场景拆解)

几个典型集成思路:

1. 激光器背面热沉:在InP/EML芯片背面键合金刚石片,作为第一级热扩散层,再接热沉/TEC;

2. die下方spreader:在驱动、TIA、硅光调制区下方嵌入金刚石,把点热源横向摊薄;

3. CPO阵列热通路:在激光阵列与ASIC之间做局部金刚石热隔离/扩散通道;

4. 绝缘导热衬底:利用金刚石绝缘特性,在光电混合封装中兼做隔离层。

表2 金刚石vs常见散热材料

光互连的散热链:芯片结→焊料/金属化→金刚石→TIM→封装/冷板→流体或空气


金刚石只负责前段——把局部高热流快速横向扩散出去。后面还得靠TIM、冷板、液冷接力。所以它的最优角色始终是“近结扩散”,脱离封装和系统单独评价金刚石,没有意义。


注意一个关键细节:界面才是真正的瓶颈。当本体热导率达到1000+量级后,串联热阻往往被TIM和键合层主导。这就是为什么2026年的产业焦点从“材料纯度”转向了“可键合性”。


三、2026年上半年:最关键的突破是“可键合”


Coherent发布Bondable Diamond(2026年1月19日)

这是上半年最具标志性的事件:金刚石表面经专门处理,可实现与Si、SiC、GaAs、InP等光电子材料的直接键合(熔融/混合/金属键合),宣称界面热阻最多降低99%,最大die尺寸100mm×100mm。


为什么这件事分量重?因为InP是光互连的“心脏材料”。

InP是DFB/EML激光器、光探测器的核心衬底材料,也是光互连链条里最热的局部热源。此前金刚石要与InP结合,往往依赖焊料或TIM,而焊料层恰恰是热阻最大的环节。Coherent宣称的“直接键合、界面热阻降99%”,本质上是在说:金刚石终于能贴着InP使用了,而不是隔一层焊料远观。

工程意义有三点:

一是减少或消除传统TIM1层,让金刚石更贴近热源;

二是从功率电子扩展到InP、GaAs等光电子材料;

三是把材料能力嵌入半导体制造流程,而非停留在独立片材。

表3 其他并行进展

把这些事件连起来看,主线很清晰:产业正在从“把金刚石做出来”,转向“让金刚石能集成”:

更大尺寸(12英寸、300mm):才能匹配半导体晶圆制造的尺寸体系;

可直接键合:才能消除最关键的界面热阻;

封装兼容(W2W/C2W):才能进入标准制造流程,而非手工贴片。


四、核心技术难点:真正的门槛在“接口”


金刚石产业化的难点已经不是“能不能长出高导热材料”,而是“能不能长期保持低界面热阻”。这才是2026年之后的主战场。


4.1 应力与CTE失配

金刚石与InP、GaAs、Si及金属化层的热膨胀系数(CTE)不同。倒装焊、共晶焊、固-固键合都可能引入残余应力、翘曲、界面裂纹;热循环中还可能产生焊层空洞、金属扩散、分层。


在光互连里这个问题被放大了:光纤耦合对准精度在微米量级,封装的任何微小形变都会让耦合效率恶化。所以金刚石集成不仅要“散热好”,还要“不变形、不开裂、不漂移”。


4.2 金属化不是“能粘上”就行

金刚石是共价sp3结构,表面惰性极强,直接焊接/键合都很困难。Ti/Pt/Au、Cr/Au等金属化方案要经受:

  • 扩散阻挡性(金属不向金刚石扩散)
  • 焊料润湿性(焊接可靠)
  • 热疲劳寿命(反复冷热循环不失效)
  • 界面化学稳定性(长期不氧化、不腐蚀)


金属化质量直接决定界面热阻和长期可靠性,这是从“材料”走向“部件”的核心工艺门槛。


4.3 键合工艺的选择与取舍

没有“最好”的键合,只有“最适合具体封装”的键合。这也是为什么可键金刚石的发布只是打开了工程空间,真正的优化要在每条产品线上重做。

表4 不同键合方式对比


4.4 缺乏统一测试标准

不同牌号、金属化、测试条件难以直接比较:材料热导率测试方法不一、界面热阻口径不一、客户边界条件各异。供应商参数越高,客户端验证负担反而越重。


光互连还额外要求热—光联合测试:温升对波长、耦合效率、误码率的影响,必须在实际链路里验证,而不能只看热阻数据。


4.5 成本与供应天花板

高端CVD金刚石的可用尺寸、缺陷密度、加工损耗、良率共同决定单位成本。即便四方达已披露12英寸能力,从材料到进入光模块BOM,还要走完:切割→抛光→金属化→焊接/键合→测试→批次一致性→客户认证。长链条意味着:材料产能≠可交付产能≠规模收入。任何一个环节不过关,前面所有的热导率优势都归零。


五、全球主要供应商:国际看“工艺闭环”,国内看“认证分化”


5.1国际供应商

国际供应商的优势,在于把金刚石做成了可加工、可金属化的热管理部件——卖的不是“材料”,而是“可集成的解决方案”。


Coherent(美国)——系统集成能力最强

可提供最大145mm聚晶CVD金刚石,T-2200(>2200W/(m·K))、T-1500(≥1500W/(m·K)),自称2010年起供应生产级金刚石;2026年进一步推出可键合方案,打通光电子材料接口。


Element Six(英国)+ Orbray(日本)——单晶金刚石晶圆领导者

2026年6月披露已建立可重复的3英寸晶圆级单晶金刚石工艺,2英寸热键合用晶圆准备量产。双方联合开发出50mm直径高质量、低缺陷密度的单晶金刚石晶圆,导热系数超2200W/(m·K),表面粗糙度Ra<0.5nm,平整度低于10μm。Element Six还牵头DARPA项目,目标4英寸器件级单晶衬底。


Diamond Quanta(美国)——异质集成路线

主打300mm diamond-on-silicon异质集成平台,兼容W2W/C2W键合,走“硅工艺兼容”路线,已进入伙伴评估阶段。


Akash Systems(美国)——商用部署先行者

获Peter Thiel支持的创业公司。2026年2月向印度NxtGen交付全球首批搭载Diamond Cooling技术的英伟达H200 GPU服务器;3月推出全球首款金刚石冷却AMD Instinct MI350X服务器。据其官方宣称,金刚石冷却系统在高温环境下能效可提升约15%。


5.2国内供应商

国内企业呈明显分化——分为“能力、送样、验证、收入”四个阶段。


黄河旋风/河南风优创——大尺寸产能领先

2026年2月28日,国内首条8英寸金刚石热沉片生产线在河南长葛正式投产。项目总投资12亿元,一期配置50台MPCVD设备,设计年产2万片。产品覆盖6-8英寸多晶金刚石热沉片。


河南科之诚——精密加工能力突出

2026年上半年实现3英寸0.2mm超薄高导热金刚石散热片对国内头部半导体基板企业批量交付。突破无应力剥离、超精密镜面研磨、晶圆级图案化、低应力金属化等关键工艺。


化合积电——超薄晶圆键合路线

采用MPCVD法生长高质量金刚石,已实现金刚石热沉片的规模化生产。2026年推出硅基金刚石复合散热技术方案,已通过海外头部GPU、CPU厂商全套封测验证,计划2026年下半年正式启动批量供应。


中国电科产业基础研究院——大尺寸自支撑晶圆

自主研发的大尺寸低成本自支撑金刚石晶圆实现关键技术突破和规模化量产,产品已在激光器、微波器件等重点领域开展应用验证。


四方达——海外客户验证通过

2026年8月17日在互动平台表示,公司金刚石散热片已通过客户测试,验证进展符合预期,并进入小批量供货阶段。公司CVD金刚石散热片热导率在2000W/(m·K)以上。


力量钻石——送样测试阶段

2026年5月披露,金刚石散热材料已迎来规模化应用窗口期,近期有多家国内知名半导体企业积极与公司对接,陆续推进送样、研发、测试等合作。


复旦-北大团队/光擎源(Nexilumen)——器件集成前沿

2026年6月17日在《自然·通讯》发表金刚石衬底长波长InGaN Micro-LED光互连成果。论文核心数据:黄光Micro-LED调制带宽达2.85GHz(2850.4MHz),红光达2.59GHz,1.5Gbps传输下能效低至0.056pJ/bit。团队已孵化成立光擎源,由复旦科创和复容投资共同完成数千万元种子轮投资。


5.3产业化发展阶段判断

当前,在光互连散热领域,金刚石产业正处在“1→2”的过渡,并向“3”试探的阶段。从工程难度和商业逻辑看,金刚石在光互连的渗透大概率按以下顺序:

1.激光器热沉(最先):热源最集中、价值最高、改动最小,是可插拔模块最容易切入的点;

2.CPO/NPO局部热通路(次之):近结热密度最高,金刚石的差异化价值最突出,但认证周期更长;

3.光电共封装热隔离/衬底(远期):需要异质集成工艺成熟,与diamond-on-silicon路线耦合。

表5 产业发展的四个关键阶段


六、结论


金刚石的价值是“局部高导热+光电兼容”,不是替代整套热管理。它最适合激光器热沉、硅光热点spreader、光电封装热通路与绝缘导热隔离层。光互连的“热”是光—电—热耦合问题,金刚石解决的是其中最局部的瓶颈。


产业处在“成熟材料+早期工程导入”阶段。Coherent可键金刚石是上半年最重磅事件;四方达大尺寸、力量钻石送样、Diamond Quanta平台评估、黄河旋风8英寸产线,共同说明供应链在向“更大尺寸+可直接键合+封装兼容”演进。但CPO大规模部署仍预期在2027年前后。


商业化的决胜点,不是单次热导率,而是“界面+可靠性+系统收益”的联合验证。器件客户应优先做“激光器/硅光热点—金刚石—封装—冷板”的联合建模+样品循环+链路测试,而非简单替换热沉。


国内产业要从“材料规格竞争”转向“系统能力竞争”。补齐表面处理、金属化、键合、无损检测、可靠性数据库,通过模块厂、激光器厂、硅光厂、交换机系统厂的联合认证,才能把材料优势变成稳定的供应链地位。


来源:HiPi联盟

注:本文由作者原创,由联盟编辑整理。文章内容系作者个人观点,宽禁带半导体技术创新联盟转载仅为了传达一种不同的观点,不代表本联盟对该观点赞同或支持,如果有任何异议,欢迎联系我们。

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