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摘要: 近日,松山湖管委会官网公布了《东莞市生态园2022年度土地征收成片开发方案》征求意见稿。拟征收地块面积6.316公顷,合计94.7亩,后续将用于保障东莞市天域半导体科技有限公司半导体项目的落地。据披露,项目计划购 ...

近日,松山湖管委会官网公布了《东莞市生态园2022年度土地征收成片开发方案》征求意见稿。拟征收地块面积6.316公顷,合计94.7亩,后续将用于保障东莞市天域半导体科技有限公司半导体项目的落地。


据披露,项目计划购置94.7亩用地建设天域半导体碳化硅外延材料研发及产业化项目,用于碳化硅外延关键技术的研发及全球首条8英寸碳化硅外延晶片生产线的建设。

项目主要内容为新增产能达100万片/年的6-8英寸碳化硅外延晶片生产线;产线主要用于8英寸碳化硅外延晶片产业化关键技术的研发;6-8英寸碳化硅外延晶片的生产和销售。

该项目计划2022年动工,预计2025年竣工并投产,预计2028年全面达产。

市场需求持续向好,国产外延产能纷纷扩产

实际上,今年上半年以来,包括瀚天天成、河北普兴等公司均已传出确切扩产消息:

1、普兴电子石家庄项目预计9月竣工投产

满产后6英寸碳化硅外延产能达36万片/年

「成员风采」天域计划建设国内首条8英寸SiC外延晶片生产线

日前,据报道,河北普兴电子科技股份有限公司石家庄项目计划将于2022年9月竣工投产。普兴电子副总经理郝东波表示,普兴电子搬迁项目是今年的省重点项目,一期占地130亩,总建筑面积7万平方米,总投资5亿元,主要建有生产车间、办公研发楼、动力站等。“

项目投产后,普兴电子将新购置各类外延生产及清洗检验设备共392台(套),达到年产300万片8英寸硅外延片、36万片6英寸碳化硅外延产品的生产能力

2、瀚天天成碳化硅二期项目已经通过验收

计划二季度将投产,出货量将突破10万/年

「成员风采」天域计划建设国内首条8英寸SiC外延晶片生产线

4月12日,厦门火炬高技术产业开发区发布消息称,瀚天天成碳化硅产业园二期已竣工,并于3月底进行了联合验收,计划今年二季度投产。


据悉,该项目于2020年11月动工,并于2021年5月完成主体封顶。今年2月9日,瀚天天成就表示,将于今年正式迁入新建的碳化硅产业园,并将首次突破碳化硅外延年出货量10万片大关。


3、南京百识投资8亿元生产第三代半导体外延片

「成员风采」天域计划建设国内首条8英寸SiC外延晶片生产线

今年1月,百识电子发布消息称公司第三代半导体外延项目完成签约。计划投资8亿元,主要生产第三代半导体外延片。


据悉,百识电子成立于2019年8月,主要生产碳化硅及氮化镓相关外延片,包含GaN on Silicon、GaN on Sic以及SiC on SiC,涵盖功率以及射频微波等应用。公司核心团队来自于台湾,有丰富的硅基氮化镓量产经验,项目团队掌握第三代半导体外延片的完整工艺。今年3月,百识电子宣布完成超3亿元A轮融资,资金将主要将用于扩产及购入生产设备.


扩产有望加速助推国产设备替代


外延工艺是整个碳化硅产业中的非常关键的一环,由于现在所有的器件基本上都是在外延上实现,所以外延的质量对器件的性能是影响非常大,同时外延的质量又受到晶体和衬底加工的影响,所以外延环节在碳化硅产业链中承上启下,对产业发展起到非常关键的作用。


与衬底不同的是,SiC外延技术成熟度相对较高,该环节的很多壁垒来自于设备,碳化硅外延材料的主要设备,目前这个市场上主要有四家:

「成员风采」天域计划建设国内首条8英寸SiC外延晶片生产线

1、德国的Aixtron:特点是产能比较大;

2、意大利的LPE,属于单片机,生长速率非常大。

3、日本的TEL和Nuflare,其设备的价格非常昂贵,其次是双腔体,对提高产量有一定的作用。其中,Nuflare是最近几年推出来的一个非常有特点的设备,其能高速旋转,可以达到一分钟1000转,这对外延的均匀性是非常有利的。同时它的气流方向不同于其他设备,是垂直向下的,所以它可以避免一些颗粒物的产生,减少滴落到片子上的概率。


目前,可以看到国产衬底、外延均进入大扩产周期,对于设备的需求非常迫切,衬底环节的长晶炉目前多为衬底企业自己设计制造,但外延设备目前还在被限制中。


据了解,目前国内也正在对高品质外延设备尝试突破,如北方华创、晶盛机电、深圳纳设等在外延炉均有实现销售交付或正在下游企业验证中。日前,季华实验室也发布消息称,公司整机国产化率超过85%的SiC高温外延装备取得突破性进展。


据碳化硅芯观察调研,因受疫情与地缘政治等原因,国外主流SiC高温外延设备交付周期已拉长至1.5-2年左右。这为国产设备替代提供了窗口期,各大外延企业均加快了国产设备的验证。目前,国产设备的技术迭代较快,叠加下游扩产需求,有望在碳化硅外延设备实现国产替代快步走。


据悉,北方华创的碳化硅外延设备已售25台,在手订单有50台,国产替代能力与潜力可见一斑。

来源:碳化硅芯观察


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