Axcelis | 向SiC芯片制造商出货Purion Power系列离子注入机

近日，Axcelis 宣布向全球领先的碳化硅 (SiC) 功率器件芯片制造商批量出货 Purion Power Series™ 离子注入机系统。这些出货全部在第二季度交付，其中包括为美国一家领先的 SiC 功率器件制造商提供的 Purion H200 SiC 评估系统以及为亚洲客户提供的多种收入系统。

据悉，交付的 Purion Power 系列注入机型号包括 Purion H200™ 高电流、Purion EXE™ 高能量、Purion XE 高能量和 Purion M™ 中电流注入机。这些系统将用于支持汽车行业电动汽车（EV）应用的功率器件的大批量生产。值得一提的是，其中几个是从韩国的 Axcelis 亚洲运营中心发货的。

Axcelis Purion H200 SiC Power 系列高电流注入机

今年5月，Axcelis向欧洲和亚洲功率器件芯片制造商客户交付了多台Purion H200 SiC Power Series™离子注入系统，并将用于支持电动汽车(EV)应用的功率器件大批量生产。

Axcelis总裁兼首席执行官Russell Low表示，由于向电动汽车的过渡，碳化硅功率器件市场持续快速增长。该市场是Axcelis增长的关键驱动力，他们将继续向新客户渗透，并扩大现有客户中的覆盖范围。Axcelis预计 2023 年超过 55% 的系统收入将来自整个功率器件领域。

此外，据市场和应用执行副总裁 Greg Redinbo 透露，Purion Power系列因其高度差异化的特性和工艺控制能力而成为市场的领导者，这对功率器件应用是非常有利的。Axcelis是唯一一家能够为所有功率器件应用提供完整服务的离子注入公司。完整的Purion Power系列产品使客户能够优化其晶圆厂，实现大批量生产，并不断提高功率器件的性能。

来源：Axcelis官网、芯TIP