《金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法》等三项团标正式发布

2025年9月24日，中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟正式批准发布《金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法》、《金刚石单晶中石墨相的相对含量测定 拉曼光谱法》、《碳化硅器件功率循环试验方法》三项团体标准。上述标准于2025年9月24日正式发布，并将于2025年10月10日起实施。

金刚石材料为超宽禁带半导体，具有载流子迁移率高、饱和漂移速度大、击穿场强高、热导率高、耐高温、抗辐照等优异的物理性质，是下一代高性能半导体器件的首选材料。《金刚石单晶表面应力分布测定 拉曼光谱法》标准规定了采用拉曼光谱技术定量分析金刚石单晶表面应力分布的具体测试流程和方法要求；《金刚石单晶中石墨相的相对含量测定 拉曼光谱法》标准为半导体金刚石单晶衬底和外延材料的晶体质量提供准确的和标准化的检测机制，这两项标准对于半导体金刚石单晶衬底和外延材料的研发、生产和应用过程中产品质量的统一控制有重要的意义。功率循环试验是衡量功率半导体器件，封装技术水平以及质量可靠性的最重要的试验之一。《碳化硅器件功率循环试验方法》标准建立了完整的碳化硅器件功率循环测试规范，为评估器件在高温、大电流等严苛工况下的长期使用寿命和可靠性提供了统一的测试依据。

三项团体标准的发布将为进一步规范和促进我国金刚石及碳化硅等宽禁带半导体材料的质量评价、器件可靠性测试及相关产业发展提供重要技术依据，对推动宽禁带半导体产业链上下游协同创新具有积极作用。

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中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟将持续推进团体标准体系建设，紧密围绕产业发展需求，推动科技创新与标准融合。截至目前，联盟已发布团体标准25项，在研标准16项，欢迎产业链各相关单位积极参与标准研制工作，共同推动宽禁带半导体产业高质量发展。