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欢迎新成员——苏州芯指南科技有限公司

2026-6-29 13:08| 发布者: iawbs| 查看: 238| 评论: 0

摘要: 苏州芯指南科技有限公司（以下简称“苏州芯指南”）创立于2024年，是一家以精密电子专用设备的研究、开发与销售为主的科技型公司，致力于第三代半导体材料生产设备的研究、生产、销售和服务；主要产品有碳化硅籽晶粘 ...

苏州芯指南科技有限公司（以下简称“苏州芯指南”）创立于2024年，是一家以精密电子专用设备的研究、开发与销售为主的科技型公司，致力于第三代半导体材料生产设备的研究、生产、销售和服务；主要产品有碳化硅籽晶粘接炉（热压炉带工艺）、感应加热法碳化硅单晶炉、电阻加热法碳化硅单晶炉、碳化硅原料合成炉、碳化硅晶片腐蚀炉等；致力于各类人工晶体材料创新研究、人才培训、小批量生产所需的各种小型化、袖珍型仪器设备；主要的产品有台式透明直拉单晶炉、透明下降单晶炉、台式常规直拉单晶炉、多段加热式下降单晶炉、垂直区熔炉、水平区熔炉、粉料合成炉、粉料烘干炉等。目前有专职研发人员8名，兼职研发人员3名，已获授权专利6项。

核心产品

一、RYL12F热压炉

主要技术参数
电源	三相五线380V±10% 50HZ
加热功率	≤10kW
电源总功率	17KVA
加热方式	下托盘加热电阻式加热
最高加热温度	800 ℃
常用温度	0 ℃--600℃
控温精度	≤±1℃
真空室尺寸	Ф550×500 mm（D×H）
压制规格	8"-18"
最大压力	5T
压杆行程	0～140mm（设置限位报警）
冷态极限真空度	≤5.0Pa（冷炉）
设备外形尺寸	1250×1170×2160（长×宽×高）

二、TRF60型蚀刻炉

主要技术参数
加热功率	8kW；
最高加热温度	800°C；
工作温度	100°C ～600°C；
升温速率	（5--10） °C/min
控温精度	±1°C
蚀刻晶圆直径	8"～12"；
每次装晶片数量	（1～5）片；
吊篮升降速度	（10～500）mm/min；
吊篮旋转速度	（ 1—10）rpm；

三、TRS20型台式提拉炉

主要技术参数
电源	220V±10% AC 50HZ
加热功率	10kW
加热方式	电阻式
最高加热温度	1200 ℃
控温精度	≤±1℃
真空室尺寸	Ф200×380（D×H）
籽晶杆升降速度	（0.1-2）mm/min
籽晶杆转速	0-30rpm
籽晶杆行程	≥260
冷炉真空度	≤1Pa
冷却水用量	1m3/h

四、TRX20型下降单晶炉

主要技术参数
电源	220V±10% AC 50HZ
加热功率	2×5kW
加热方式	电阻丝
最高加热温度	1000 ℃
控温精度	≤±1℃
腔室尺寸	Ф160×660（D×H）
坩埚杆升降速度	（0.1-5）mm/h
坩埚杆转速	0-30rpm
坩埚杆行程	≥600
冷炉真空度	≤1Pa
冷却水用量	1m3/h
冷却水压力	0.1MPa～2MPa