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青岛华旗科技有限公司

2017-4-14 15:42| 发布者: iawbs| 查看: 3593| 评论: 0

摘要: 青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年),为专业的IC集成电路及器件工艺、宽禁带半导体材料(晶体生长等)、半导体特气及废气处理、精密真空热处理炉(磁性材料等、成套)设备及解决方案 ...
       青岛华旗科技有限公司(青岛精诚华旗微电子设备有限公司,建于1993年),为专业的IC集成电路及器件工艺、宽禁带半导体材料(晶体生长等)、半导体特气及废气处理、精密真空热处理炉(磁性材料等、成套)设备及解决方案的高科技研发制造企业。致力于为IC集成电路、功率器件、MEMS器件、LED、太阳能电池、新材料等制造厂家及科研院所提供先进的工艺设备(含成套设备及解决方案)。出色地完成了部分国家863项目(如GaN厚膜生长的HVPE设备、MOCVD系统等)及相关的国家重点项目等。
       2006年通过GB/T19001-2008(ISO9001:2008)质量管理体系认证。
       
      主要产品如下:
  • 半导体前工序设备:4~12寸氧化扩散炉LPCVD系列(水平/垂直结构)
  • 宽禁带半导体材料器件工艺设备:SiC等高温退火炉、氧化炉、外延炉等
  • 半导体材料设备:提纯、多晶合成、外延、晶体生长(GaN、AlN、石墨烯等),HVPE、MOCVD、VGF、PVT等
  • 气瓶柜及废气处理(SCRUBBER):特气柜,尾气(废气)处理系列
  • 加热体:4~12寸氧化扩散炉体
  • 真空工艺设备:RTP、高温高压炉、磁性材料等单室、多室真空热处理炉、渗镝、氢破炉等    

     网址:www.jcmee.com

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