2022年9月28日,根据中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟(以下简称“宽禁带联盟”)团体标准制定工作程序要求,联盟秘书处组织召开了宽禁带联盟2022年度第三次团体标准评审会。本次评审会采取线上评审的形式,分别对《金刚石单晶片 X 线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》等四项团体标准进行了研讨。

评审会由宽禁带联盟秘书长刘祎晨主持,中国电子科技集团公司第四十六研究所首席专家林健研究员、中国科学院半导体研究所孙国胜研究员、中国科学院半导体研究所金鹏研究员、中科院电工研究所宁圃奇研究员、吉林大学李红东教授、厦门大学张峰教授、中国科学院半导体研究所刘兴昉副研究员、株洲中车时代电气股份有限公司副总工刘国友高工、株洲中车时代半导体有限公司研发中心李诚瞻副主任、深圳市重投天科半导体有限公司张新河总监、中科院电工所张瑾高工、工业和信息化部电子第四研究院闫美存高工、瀚天天成电子科技(厦门)有限公司质量部陈志霞经理、北京三平泰克科技有限责任公司郑红军高工等宽禁带联盟标准化委员会委员参加了本次会议。

会上,各牵头起草单位代表分别对第五批团体标准送审稿主要内容进行了详细介绍及说明,与会专家针对送审稿的文本格式、标准技术内容等进行研讨,针对送审稿从标准普适性、准确性、科学性等方面进行了深度的协商与讨论,提出了很多宝贵意见,最后由联盟标准化委员会与会委员表决,形成如下决议:

1. 通过《金刚石单晶片 X 线双晶摇摆曲线半高宽测试方法》(牵头单位:中国科学院半导体研究所)、《金刚石单晶位错密度的测试方法》(牵头单位:中国科学院半导体研究所)送审稿审定;

2.《碳化硅外延层载流子浓度测定非接触电容-电压法》(牵头单位:安徽长飞先进半导体有限公司)、《碳化硅栅氧的界面态测试方法— 电容-电压测试法》(牵头单位:安徽长飞先进半导体有限公司)两项标准需进一步补充完善再提交送审。

下一步,各牵头立项单位需将根据专家审查意见对各项标准进一步修改完善,尽快形成报批稿,报送至联盟秘书处推进下一步工作。

联盟积极推动半导体行业标准工作,截止2022年8月,联盟已发布国际标准1项、国家标准1项、团体标准18项(含3项中关村标准),此外,还有1项国际标准、3项国家标准、1项地方标准、5项标准在研。


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