【成员风采】上海优睿谱半导体设备有限公司获晨曦乾元基金投资

近日，曦晨资本旗下晨曦乾元基金成功投资上海优睿谱半导体设备有限公司。

上海优睿谱半导体设备有限公司成立于2021年9月14日。公司由长期从事于半导体行业的海归博士领衔和国内专业的IC前道制程量测设备技术团队共同发起成立。团队人员均为长年深耕在半导体前道量测设备行业,在国内具有深厚的产业背景、产业资源以及设备制造的产业链资源。

优睿谱业务布局

公司集研发、设计、制造、销售与服务于一体，主要产品领域为半导体前道量测设备。半导体前道量测设备主要用于半导体制造工艺中缺陷检测和参数测量，广泛用于硅片制造、芯片制造、先进封装领域，如关键尺寸测量设备、薄膜厚度测量设备、缺陷检测设备等。前道制程量测设备已超过百亿美元市场规模，而更先进的制程工艺也扩大了量测设备的需求，给量测设备带来更多新的市场空间。优睿谱自主开发了半导体专用傅里叶变换红外光谱测量设备，可以用来测量外延层厚度及均匀性、元素浓度、硅料杂质含量等。

优睿谱产品

公司产品方面：优睿谱FTIR设备Eos200Lite可用于碳化硅外延片外延层厚度及均匀性测量，目前已获得多家头部碳化硅基外延厂订单；优睿谱FTIR设备Eos200/200+, Eos300/300+用于硅基外延片和元素浓度测量设备也已获得多家头部硅基外延厂和FAB厂订单；公司的碳化硅自动光学位错微管检测设备SICD系列可用于碳化硅衬底的位错及微管缺陷检测，据优睿谱公司唐德明博士介绍，较国内同类功能的设备，SICD设备在检测速度上提升了数倍。

来源：曦晨资本

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