苏州清科珈合科技发展有限公司（简称“清科珈合”），为液、气管路精准测量与控制解决方案服务商，公司创始人来自清华大学与北京交通大学博士。公司总部设在苏州市高新区，在北京设有研发中心。在苏州建有4000㎡生产厂房，其中千级百级为主的洁净车间1500㎡左右。洁净车间集研发实验、超纯水、超纯氮气系统、高端注塑、标定、测试、检测、清洗、包装及仓储等功能于一体。

产品介绍

超声波液体流量计产品

清科珈合超声波液体流量计产品已在国内知名Fab厂测试验证通过，并被国内设备龙头企业批量采购。对于高精度超声波液体流量计，清科珈合为国内唯一技术初步验证通过的公司。

超声波流量计广泛应用于半导体、光伏、生物制药、化工等领域。超声波液体流量计是CMP抛光机、清洗机、涂胶显影设备液体管路系统的核心部件，是高性能闭环流量控制器，结合超声波流量计与控制阀，实现超纯化学品的高精度控制。超声波流量计采用全PFA材质，无活动件。为流量测量在精度、重复性、稳定性等方面达到行业先进水平。产品设计用于各种高纯度液体，包括纯水、化学液和CMP抛光液。

QK1系列高性能闭环流量控制器

QK1系列具有广泛的测量范围和应用，结合超声波流量计与控制阀，实现超纯化学品的高精度控制。超声波流量计接触液体部分除阀门膜片外采用全PFA材质，整体热接成一体，无活动件。使流量测量在精度、重复性、稳定性等方面达到行业先进水平。步进马达驱动压管阀（用于浆料）或隔膜阀（化学品、纯水）提供快速精确的响应，以最小死区来确保工艺准确度。

QK2系列液体超声波流量计

QK2系列液体用超声波流量计专为测量纯水和化学液而设计的流量计，由QK2系列流量测量管和信号变送器组成。QK2系列流量测量管接液部材质全部由用于半导体工艺的PFA材质构成。整体连接采用PFA热熔焊接工艺，没有容易产生液体积聚的O形圈密封结构，优良的洁净结构是半导体等要求高洁净度工艺的首选。

联系方式

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