来源:苹果日报

视为第三代半导体材料的碳化硅(SiC)前景看好,其技术主要掌握在美国CREE、日本罗姆半导体等大厂手中,台系半导体产业链以产学合作的方式突围,希望可以在第三代半导体材料大饼中占有一席之地。中美晶与环球晶希望透过产学合作,加速开发出8吋的长晶技术。


中美晶董事长卢明光表示,特斯拉的Model 3电动车已开始采用SiC MOSFET,SiC芯片的特色具有耗能低、更省电、耐高压,可以达到快速充电的效果,并可以让电动车跑的里程数远高于一般的燃油车,电动车将是SiC未来最大的市场。
 
卢明光也表示,现在日本、美国政府把SiC硅晶圆、芯片等产业列为关键技术,下令禁止输出,目前产品可以输出,但是技术不能输出,在在显示,SiC材料将在未来半导体产业发展中扮演非常重要的角色。
 
回到台系厂商的发展进程,卢明光透露,目前交通阳明大学中有一个《喜玛拉雅山》计划,该计划主要研究半导体材料、非硅材料碳化硅、氮化镓、5G、AI、物联网,数位医疗等,其中半导体小组的部分由他本人负责,对于台湾来说,SiC的长晶技术已经有了,中科院有4吋长晶技术,并技转给太极,中美晶有4吋N型长晶技术,与稳懋搭配合作,主要做PA功率放大器产品。
 
卢明光表示,目前环球晶每月资助3000万元该计划,希望透过产学一起研究合作,共同开发8吋的长晶技术,快速建构出台湾SiC产业链。
 
从SiC产业链来看,卢明光说明,首先要有长晶的厂商,之后切片、研磨、抛光等都难不倒国内的厂商,不过光是长晶的困难度就很高,因为长晶炉的温度至少将2千度以上,比一般传统的1千多度要高出许多,不只是长晶,很多制造的环境都是极度高温的情况。
 
卢明光表示,目前国内厂商在SiC长晶上面的技术都还不成熟,布局较久的厂商包括汉磊与旗下嘉晶、联电集团旗下的联钧等,而生产过程难度高之外,SiC的材料费用、设备也非常昂贵,若学校要投入研究的话,根本就负担不起,所以需要企业界一起赞助合作,以美国第一大厂CREE为例,即要砸下10亿美元做8吋SiC硅晶圆,其投入成本之高可见一斑。
 
最后,卢明光表示,SiC是非常具有发展前景的半导体材料,不论是功率发电、太阳能发电、快速充电都需要SiC,中美晶与旗下的环球晶除了透过产学合作之外,也会持续布局,未来不会在SiC市场中缺席。



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