碳化硅生长选用红外测温

通常的温度通过热电偶就可以测量。常用的铂铑、镍铬、铜镍等热电偶从-50-1600℃均可连续测量，某些特殊热电偶最低可测到-269℃（如金铁镍铬）、最高可达2800℃（如钨、铼）。

两种不同导体（或半导体）形成闭合回路，在不同温度下，由于接触点、长导体两端会因为不同温度而产生热电效应，从而出现电势差。这个电势差可以反推温度。根据热电动势与温度的函数关系，制成热电偶分度表；分度表是自由端温度在0℃时的条件下得到的，不同的热电偶具有不同的分度表。

但是，碳化硅生长温度较高，一般都是通过红外探测。温度在绝对零度以上的物体，都会因自身的原子、分子运动而辐射。通过探测辐射的波长及强度，可以反推对应的物体表面的温度。再者可以做出表面温度分布图。

考虑最简单的黑体辐射，热平衡状态下，红外区域的直接使用经典的黑体辐射理论可以解释：

不同的温度、不同的波长可以测得不同的光强。

当然，准确的还是量子理论的，不但可以解释红外区，还可以解释紫外区和X射线区的光谱：

当频率趋于0或者温度趋于∞，就简化成经典的公式了。

自然界中存在的实际物体，几乎都不是黑体。所有实际物体的辐射量除依赖于辐射波长及物体的温度之外，还与构成物体的材料种类、制备方法、热过程、表面状态、环境条件等因素有关。因此，为使黑体辐射定律适用于所有实际物体，必须引入一个与材料性质及表面状态有关的比例系数，即发射率。该系数表示实际物体的热辐射与黑体辐射的接近程度，其值在零和小于1的数值之间。根据辐射定律，只要知道了材料的发射率，就知道了任何物体的红外辐射特性。

选用测温仪，要注意辐射路径的吸收。因为可以测的范围很广，所以可以针对不同的吸收情况，选择合适的波长。在高温区，测量金属材料的最佳波长是近红外，可选用0.8～1.0um。其他温区可选用1.6μm、2.2μm、3.9μm。在低温测量应用中，通常用Ge或Si材料作为窗口，不透可见光，人眼不能通过窗口观察目标。如操作员需要通过窗口目标，应采用既透红外辐射又透过可见光的光学材料，如应采用既透红外辐射又透过可见光的光学材料，如ZnSe或BaF2等作为窗口材料。

红外测温仪必须经过标定才能使它正确地显示出被测目标的温度。一般的红外测温的校准周期是一年，建议选用腔形，发射率达到0.995的黑体炉，才能准确的校准红外测温仪。

参考文献

百度百科 红外线测温仪

费曼物理学讲义 第41章 布朗运动