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各有关单位、各专委会:

由中关村天合宽禁带半导体技术创新联盟归口管理,北京锐洁机器人科技有限公司等相关单位共同起草的《半导体设备前端模块》团体标准已完成征求意见稿,现面向社会各界公开征求意见。有关意见反馈,请填写附件二《团体标准意见反馈表》,并于2023年08月21日之前以邮件方式反馈至联系邮箱,逾期未回复意见的按无异议处理。

感谢支持与配合!


联 系 人:刘老师

联系电话:010-50875766-721

电子邮箱:lianmeng@iawbs.com

联系地址:北京市大兴区丰远街1号院


附件:

附件一:《半导体设备前端模块》(征求意见稿)

附件二:团体标准意见反馈表


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